1）用XRD测量多层薄膜反射率干涉条纹，运用FFT方法测得多层薄膜厚度。 2）用XPS深度剖析表征薄膜结构，得到膜层组分及其纵向分布信息。 3）结合XPS和XR...

未知物分析是一种利用多种仪器，对样品的表面、形态、结构等各方面进行表征的检测技术[1]。随着生产领域对产品质量要求的提升，未知物的检测分析在产品创...